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TiO2thinfilm相关论文
CVD法TiO2薄膜的制备条件及光学性质的研究
以四异丙醇钛为钛源物质,采用常压化学气相沉积法制备了TiO2膜,并对其光学性质进行了研究。实验结果表明,:沉积条件是影响TiO2膜的沉积率和光学......
期刊
化学气相沉积
二氧化钛薄膜
光学性质
chemicalvapourdeposition
TiO2thinfilm
depositionrate
refracti
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